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          半導體行業自制設備
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          XY精密滑臺

          XY精密滑臺

          Awooe-XY精密滑臺是一個集成XY線性電機位移臺,旨在消除單個X級和Y級的集成,并提高系統的動態應用剛度。它的特點是行程范圍為 100mm,X軸和Y軸之間具有精確的正交對準,是精密工業應用的理想解決方案,X/Y重復定位±0.5μm、定位精度(含補償)±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s
          片庫

          片庫

          尺寸:332*356*765
          特征要點:
          ·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
          ·Cassette加載檢測
          ·整體潔凈度等級優于ISO Class4
          ·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度
          ·晶圓交接重復性精度≤7μm
          ·運行速度最大150mm/s
          ·停電或緊急停止安全原位保持
          ·維護MTTR≤30分鐘
          ·支持SEMI標準
          版庫

          版庫

          尺寸:321*298*437
          特征要點:
          ·支持6吋單槽和6槽位光罩盒
          ·光罩盒和盒蓋檢測
          ·掩膜Mapping檢測
          ·自動完成光罩盒開解鎖
          ·支持RFID掃讀和數據上報
          ·支持掩膜二維碼掃讀和數據上報
          ·掩膜交接重復性精度≤40μm
          ·整體潔凈度等級優于ISO Class4
          ·支持SEMI標準
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