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          全封閉直線電機模組

          全封閉直線電機模組

          行程(可定制)800mm的直線電機全封閉模組。采用獨特的密封方案,與傳統的上部鋼帶密封模組相比,上部可以安裝堅固的蓋板,使其可以更方便與高壽命的應用在激光加工領域或者半導體行業,內部采用了高分辨的編碼器和無鐵芯的直線電機,使運動可以更佳的順滑和平穩,高精度等級的線性導軌使其機械運動的參數也極為優異。整體的運動過程中重復定位精度1um,補償后定位精度可控制在2um以內,整體運行直線度5um以內。
          多軸運動平臺

          多軸運動平臺

          直線電機驅動的多軸運動平臺,X軸驅動采用直線電機加高分辨率編碼器,高精度等級的線性導軌,采用精度和耐用穩定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm,重復定位精度1um,補償后定位精度2um以內,直線度全行程10um以內。Y軸驅動方式與X軸相同,行程260mm,重復定位精度1um,補償后定位精度2um以內,直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機加高分辨率光柵編碼器的全閉環控制方案,通過特殊的內部傳動結構使電機外置,保證精度的同時也減小了整體的空間,Z軸行程16mm,重復定位精度3um,補償后定位精度5um以內。旋轉軸可連續360°,重復定位精度±2arcsec,定位精度±15arcsec。整體運行平面度±25um,XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應用于半導體等對精度有一定要求的行業。
          XY精密滑臺

          XY精密滑臺

          Awooe-XY精密滑臺是一個集成XY線性電機位移臺,旨在消除單個X級和Y級的集成,并提高系統的動態應用剛度。它的特點是行程范圍為 100mm,X軸和Y軸之間具有精確的正交對準,是精密工業應用的理想解決方案,X/Y重復定位±0.5μm、定位精度(含補償)±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s
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